3月26日,北京市科學技術委員會公布了2019年度北京市科學技術獎項目評審結果,萬業企業全資子公司凱世通的大束流離子注入機裝備及工藝研發項目成功斬獲科技進步一等獎,這一重大技術突破填補了國產集成電路設備產業鏈的空白,為集成電路產業高質量發展提供關鍵動力。
北京市科學技術獎是北京市政府在科技方面的最高獎項,旨在獎勵科學界的優秀人士與團體,有利于調動科學技術人員的積極性和創造性,加速城市經濟建設和社會發展,是北京科技界最高獎項,此次凱世通的獲獎也無疑成為萬業轉型集成電路領域的助推器。
凱世通是國內唯一一家覆蓋光伏、集成電路及AMOLED離子注入機三大類設備的制造企業,離子注入機行業存在較高的行業壁壘,離子注入機是半導體制造工藝中技術最為復雜的設備之一,與光刻機、刻蝕設備和薄膜沉積設備被并稱為集成電路制造的“四大金剛”。離子注入技術在集成電路產業中得到廣泛的應用,因此,收購凱世通是萬業切入集成電路領域的重要一步。
通過萬業企業集團化運作的不斷加持,凱世通自主研發的低能大束流集成電路離子注入機已具備先進制程的低能大束流離子注入整機工藝驗證的能力,該產品在低能和大束流等核心指標,特別是束流強度指標上,已達到或超過國外同類產品,因此可更好的降低單位成本消耗,滿足國內集成電路行業實際應用,未來有望為全球先進制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導體等不同應用領域芯片客戶提供離子注入工藝驗證服務,大幅提升客戶晶圓制造能力與芯片性能。
在萬業企業的領導下,凱世通正持續加大對集成電路離子注入機的研發力度,打造出更具創新力與市場競爭性的產品。此外,萬業企業未來將繼續依托國內外雙渠道資源力量,以“外延并購+產業整合”雙輪驅動模式,“集成電路+產業投資+產業園”三駕馬車并駕齊驅前行,全面轉型為集成電路高端裝備材料龍頭,助力國產集成電路的整體發展,致力于將公司打造成中國集成電路裝備的大國重器。